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台科大与科技厂产学合作 降低半导体耗材成本

时间:2020-06-24  阅读:542  点赞次数:170  

台湾科技大学宣布与大量科技合作,针对半导体製程的耗材「抛光垫」,开发一套智慧动态监控系统。这套系统能即时扫描并分析抛光垫的表面形貌,精準监测抛光垫寿命,掌握耗材的最大化使用时间,进而降低成本,提高晶圆製程的效率。

台科大校长廖庆荣表示,大量科技在电路板工具机产业中深耕多年,并跨足光电产业与半导体产业。台科大机械系陈炤彰在半导体研磨抛光技术研究有成,透过台科大国际产学联盟搓合产学单位,已取得经济部技术处产学研价值创造计画的支持。他乐见产学研三方资源整合,共同提升台湾半导体产业竞争力。

陈炤彰表示,台湾是全球最大半导体材料消费地区。每年抛光垫耗材成本高达80亿台币,且有逐年增加趋势。这套智慧监控系统可协助台湾半导体厂降低约10%耗材成本,并提高5%产能,大幅提升台湾半导体设备产业的竞争力。

大量科技董事长科技特助、本次合作计画共同主持人林建宪说,过去缺乏即时监测抛光垫寿命的技术,大多凭经验粗略判断是否要更换抛光垫,造成耗材成本浪费。台科大与大量科技合作开发智慧监控系统,目标是即时扫描并分析抛光垫的表面形貌,达到监测抛光垫使用寿命、接触面积以及抛光液储存能力,进而优化使用时间,减少抛光垫更换次数。

陈炤彰说,台科大机械系与大量科技合作模式,是由台科大提供技术开发抛光垫分析软体,大量科技进行硬体设计与系统整合,共同打造抛光垫智慧动态监控系统。大量科技也成立了新事业部门,目前已有参与计画的台科大机械所毕业生到大量科技任职。

台科大机械所硕士班毕业生陈俊臣目前在大量科技担任工程师,在学期间就透过产学合作计画,参与抛光垫检测研究。他表示,过去在学校参与研究的经验,让他对半导体领域有深入了解,针对抛光垫分析软体与演算法的专业能力也大幅提升。毕业后进到大量科技半导体事业部工作,工作内容也是延续先前的研究,快速与业界接轨。台科大与科技厂产学合作 降低半导体耗材成本

台湾科技大学与大量科技合作,针对半导体製程的耗材「抛光垫」,开发智慧动态监控系统来降低成本,提高晶圆製程的效率。
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